华师物理与电信工程学院02级本科生赖秀琼同学在
如何获得均匀的DLC薄膜是微电子加工领域所关注的问题。该论文把等离子体密度的朗谬探针空间分布测量应用于微波等离子体化学气相沉积，并结合光谱测量，来分析相关的实验结果，选择密度空间分布比较均匀的区域制备DLC薄膜，这种将等离子体微观参数与成膜质量相结合的研究具有创新性。
华南师范大学团委供稿
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华师物理与电信工程学院02级本科生赖秀琼同学在
如何获得均匀的DLC薄膜是微电子加工领域所关注的问题。该论文把等离子体密度的朗谬探针空间分布测量应用于微波等离子体化学气相沉积，并结合光谱测量，来分析相关的实验结果，选择密度空间分布比较均匀的区域制备DLC薄膜，这种将等离子体微观参数与成膜质量相结合的研究具有创新性。
华南师范大学团委供稿
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